6月12日，在安徽北方微电子研究院集团有限公司，技术人员在生产MEMS晶圆。记者 徐旻昊 摄
晶圆检测现场。记者 徐旻昊 摄
晶圆自动化生产现场。记者 徐旻昊 摄
在安徽北方微电子研究院集团有限公司，工作人员正在生产晶圆。记者 徐旻昊 摄
据安徽日报消息 传感器相当于人类五官的延伸，让万物有了“眼睛”“耳朵”“鼻子”，变得更加智能。小到通信家电，大到航空航天，传感器的应用无处不在。
近年来，安徽省抢抓人工智能发展机遇，着力构建“一核两地多点”的产业布局，力争建设成为具有全国乃至全球影响力的人工智能科技创新策源地和新兴产业聚集地。
蚌埠市作为省内唯一的集成电路和MEMS晶圆生产线所在地，正全力推进中国传感谷建设，构建自主可控的芯体和传感器技术体系，已成为我省人工智能产业布局的重要一环。
四十余年沉淀“独门绝技”
一片指甲盖大小的传感器，通过把磁场、电流、温度等影响因素转换为电信号，从而助力设备的驱动，在新能源发电、新能源汽车等领域随处可见它的身影。
走进蚌埠市龙子湖畔边的安徽北方微电子研究院集团有限公司（以下简称北方微电子研究院），展厅内部陈列着一张张晶圆片，每个晶圆上都有非常精巧的内部结构。
“公司打造了多个自主的MEMS（微机电系统）工艺平台，以微纳制造工艺为核心，把传感器技术和微机电系统技术集成在一起，就能研制出MEMS传感器。”安徽北方微电子研究院集团有限公司党委书记、董事长陈丙根在集成电路领域深耕多年，“MEMS传感器的芯片制造工艺是个手艺活儿，可以说是公司的‘独门绝技’，而这也是智能传感器的底座。”
“做芯片难的不是设计，而是将设计图纸变为现实。”陈丙根介绍，传统半导体工艺是平面工艺，而MEMS芯片工艺是立体工艺，有多层结构，要一层层堆叠，精度要求高且结构复杂，同时还要有可靠性和一致性，便于生产制造。
安徽北方微电子研究院集团有限公司成立于2022年，以中国兵器工业第二一四研究所（以下简称“214所”）为主体单位，由华鑫智感等9家参控股公司组成。
成立虽晚，起步却早。早在1979年，214所就开始探索微电子技术研制领域。如今的北方微电子研究院已汇集40余年的技术积淀，建设有国内先进的6英寸MEMS体硅工艺中试研发平台，拥有国内领先、国际先进的完全自主知识产权的4套完整的MEMS工艺体系。
好“手艺”，带来好产品。“最近公司发布了2款导航级高精度MEMS惯性传感器、6个系列的MEMS压力传感器等，产品还在不断升级迭代。”陈丙根告诉记者，研制的产品还为“神舟”“嫦娥”等多项国家航天重点工程的“问天之旅”提供有力保障。
有了硬核工艺，也就有了发展的底气。依托214所多年从事微电子技术研制的技术、人才等积淀，2021年，在省级支持下，蚌埠启动建设中国传感谷，与位于合肥的“中国声谷”、芜湖的“中国视谷”并称安徽人工智能产业“三谷”。
星火燃起燎原之势
按照“一谷三园”产业集群总体布局，中国传感谷设立“一谷”即中国（蚌埠）传感谷，“三园”即传感谷MEMS核心器件产业园、传感谷科技孵化园、传感谷中央创新园，致力打造自主可控芯体最多、传感器种类最全、产值超千亿的产业集群。
安徽希磁科技股份有限公司（以下简称希磁科技）是谷内其中一家企业，专注磁性传感器及磁性传感器芯片设计、研发、生产以及销售。
6月11日，记者来到希磁科技生产车间内，透过窗户看到三条贴片机产线正高速运转。
“基于TMR（隧道磁阻）技术，公司进行磁性传感器的研发和生产，已研制出电流传感器、角度传感器、位移传感器等产品。”安徽希磁科技股份有限公司总经理办公室主任赵乾阳介绍，凭借对磁传感技术的掌握及创新，公司正为新能源汽车、智能电网等行业提供解决方案。
传感器在生活中是如何应用的？赵乾阳举了个例子，新能源汽车的行驶离不开电流传感器，它可以检测汽车充放电的电流，利用电磁感应原理的开环电流传感器对充放电电流进行过流保护，提高汽车电池的使用效率。还能实时采集动力电池组中每块电池的电压和温度，充放电电流及电池包总电压，防止电池发生过充或过放现象。
“在蚌埠，能切切实实体会到当地对企业创新、企业发展的重视，不管是厂房还是其他发展需求，园区服务的响应速度非常快，让企业发展无后顾之忧。”赵乾阳感慨。
除了希磁科技，芯动联科、有家硅光、依爱消防、双环电子等一批行业领军企业纷纷落子蚌埠。目前，中国传感谷已初步形成设计、制造、封装、筛选、测试及模块与系统集成应用等全产业链发展的生态体系。集聚智能传感产业相关企业200余家，其中高新技术企业50家，省级以上专精特新企业17家，覆盖产业上下游各个环节。
传感世界支撑智能未来
随着人工智能、物联网等技术的迅猛发展，新一轮技术革命即将到来，智能传感及相关产业将迎来巨大的发展机遇。作为中国三大传感器研发制造基地之一，蚌埠正依托现有基础，聚力打造千亿级智能传感全产业链集群，形成国内一流、世界知名的智能传感器集聚区。
发展并不是一蹴而就的，当下传感谷的发展仍面临产业规模偏小、优势发挥不充分、融资能力不强、资金投入不足、人才引育不易的发展问题。
政策犹如及时雨，为产业发展“输气补血”。近日，安徽出台《关于支持中国传感谷发展若干政策》（以下简称《若干政策》），内容涉及加大投入、创新发展、人才引育等五个方面，用真金白银支持中国传感谷发展。
突出“四链”融合。《若干政策》涉及资金投入、创新发展、人才引育、上市融资和海外发展五个方面，紧扣产业链部署创新链、人才链和资金链，全方位加快产业生态构建。突出产业需求。传感器产业是技术密集型产业，对人才和技术的需求较其他产业更加迫切，为此政策着重设计安排人才引育、技术攻关等支持，相关举措占整个政策近一半，把握了产业发展的重点方向和薄弱环节。
突出省市联动。《若干政策》既涵盖省级层面存量政策引导，也有市级层面政策综合支持，有利于发挥政策叠加效应，通过省市政策协同推动中国传感谷建设加快落地见效。
省科技厅人工智能专班工作组副组长吴锐表示，《若干政策》将推动以蚌埠中国传感谷为核心集聚区的智能传感器产业发展，加快中国传感谷建设，加速MEMS智能传感器重点领域和产业链关键环节的科技攻关，吸引更多上下游企业入驻传感谷，深入推进创新链、产业链、资金链、人才链深度融合。（记者 鹿嘉惠）
